早期的透鏡放大倍數(shù)只有2~3倍,也許可以幫助視力不好的人看清楚字跡,但是我們離看到原子和分子還差得遠(yuǎn)。因此,我們需要新的工具。最先做出突出成績的是羅伯特·胡克(Robert Hooke),那位曾與牛頓打得天翻地覆的科學(xué)家。羅伯特·胡克不僅是一位造詣高深的理論學(xué)家,他發(fā)明了胡克定律,而且對(duì)行星引力平方反比定律做出了貢獻(xiàn),他還是一位制作精密儀器的高手。他在1665年發(fā)表了著作《顯微圖片:或關(guān)于使用放大鏡對(duì)微小實(shí)體作生理學(xué)描述》(Microphagia: or Some PhysiologicalDescriptions of Miniature Bodies Made by Magnifying Glasses),在這本書里,他向讀者展示了一個(gè)紛繁復(fù)雜又奇妙無比的微觀世界。羅伯特·胡克在植物身上發(fā)現(xiàn)了很多小空洞,并講這些空洞命名為:細(xì)胞(cell)。他計(jì)算出一平方厘米軟木片上大約包含有195255750個(gè)空洞,如此巨大的數(shù)字在當(dāng)時(shí)的科學(xué)界還是極其罕見的。羅伯特·胡克在微觀世界上的突出貢獻(xiàn)完全歸功于他高超的顯微鏡制作技巧,以及那一臺(tái)可以放大到30倍的顯微鏡,這一放大倍數(shù)在當(dāng)時(shí)的光學(xué)界被認(rèn)為是鶴立雞群的。
上述這些信號(hào)都被用來分析物質(zhì),但是有一些是偏重于元素的(背散射電子、特征X射線以及俄歇電子),而二次電子和透射電子則是對(duì)被測(cè)物質(zhì)的形貌非常敏感的,所以他們也就被用來放大觀測(cè)微觀物體。電子顯微鏡根據(jù)接收信號(hào)的不同可以分為掃描電子顯微鏡(scanning electron microscope)和透射電子顯微鏡(transmission electron microscope)兩大類,其中掃描電鏡靠二次電子觀察形貌,而透射電鏡則利用透射電子。
掃描電鏡使用二次電子為觀測(cè)信號(hào),二次電子能量極低,只可以從樣品表面小于10nm的范圍內(nèi)激發(fā)而出,這就使得掃描電鏡只能觀察到樣品表面的形貌,而無法獲得樣品整個(gè)的結(jié)構(gòu)信息。另外由于掃描電鏡無需穿透樣品,所以加速電壓相對(duì)較?。ㄐ∮?0 kV),這使得掃描電鏡的光斑相對(duì)較大,無法獲得極高的分辨率。一般普通的掃描電鏡的放大倍數(shù)不超過100萬倍,分辨率大致在幾百納米的尺度上。而場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡(field emission scanning electron microscope,F(xiàn)ESEM)可以有效地提高加速電壓以聚攏光斑,這就讓我們可以獲得更大的放大倍數(shù)(一般小于150萬倍),并可以看到10~20nm左右的顆粒。150萬倍的放大倍數(shù)足夠我們勉強(qiáng)看到比較大一些的分子(晶胞)了,但是距離要看到原子所需要的200萬到300萬倍,還有最后一段最艱難的路要走。
雖然掃描隧道顯微鏡可以有效地看到單個(gè)原子并操縱它們,但是掃描隧道顯微鏡只能用來觀察導(dǎo)體,半導(dǎo)體的效果就很差了,而絕緣體則完全無法觀測(cè)。為了彌補(bǔ)這一缺陷,發(fā)明了掃描隧道顯微鏡的格爾德·賓尼希再接再厲,在1985年發(fā)明了原子力顯微鏡(atomic force microscope,AFM)。原子力顯微鏡的原理與掃描隧道顯微鏡大致相同,都是通過探針和原子表面發(fā)生相互作用。但是最大的區(qū)別在于,原子力顯微鏡采用了原子間的相互作用(如范德華力)作為信號(hào)進(jìn)行收集,而非隧道電流,這就使得原子力顯微鏡可以觀察諸如陶瓷的絕緣體。